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·Î(ÒÄ) ³»ºÎÀÇ ºÐÀ§±â´Â SiC È÷ÅÍÀÇ ¼ö¸í¿¡ Å« ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ£´Ù. °¡µ¿ Áß¿¡ SiC È÷ÅÍ´Â Á¡Â÷ »êȵǾî SiO©ü·Î º¯ÈµÈ´Ù. SiO©ü´Â SiC ¼öÁ¤ ¼ººÐÀ» ºÐ¸®½ÃÅ°°í, ÀÌ¿¡ µû¶ó ÀúÇ×ÀÌ Áõ°¡ÇÏ´Â ºÎÀ§°¡ »ý°Ü ºÎÇÇ°¡ È®´ëµÇ°í, SiC È÷ÅÍ°¡ ÆļյȴÙ. °ÇÁ¶ÇÏ°í ¼ø¼öÇÑ °ø±â Áß¿¡¼ SiC È÷ÅÍ´Â 2000½Ã°£À» °è¼Ó »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
¡á ºÐÀ§±â¿¡µû¸¥ ÃÖ°í »ç¿ë ¿Âµµ(¡É)
¢º SiC (źȱԼÒ)°è¿
Air(°ø±â) 1500¡É
Vacuum(Áø°ø) 1000-1200¡É
Nitrogen(Áú¼Ò) 1350¡É
Hydrogen(¼ö¼Ò) 1200¡É
Endogas/ Exogas (Èí¿/ ¹ß¿Çü °¡½º) 1250-1400¡É
Hydrocarbon(źȼö¼Ò°è °¡½º) 1250¡É
¢º MoSi©ü(±Ôȸô¸®ºêµ§)°è¿
Á¶°Ç | ÃÖ°í»ç¿ë¿Âµµ |
1700 | 1800 |
NO2,CO2,O2,Air | 1700¡É | 1800¡É |
He, Ar, Ne | 1650¡É | 1750¡É |
SO2 | 1600¡É | 1700¡É |
CO, N2 | 1500¡É | 1600¡É |
(Moisture) H2 | 1400¡É | 1500¡É |
(Dry) H2 | 1350¡É | 1450¡É |