¾È³çÇϼ¼¿ä,
¿ï»ê°úÇбâ¼ú¿ø ±èÅÂÇöÀÔ´Ï´Ù.
CVDÀÇ furnace ºÎºÐÀÇ heater·Î »ç¿ëÇÒ SiC Rod ¸¦ ã°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
±Ô°ÝÀº
-Á÷°æ **ÆÄÀÌ
-Àüü±æÀÌ : 640
-°¡¿ºÎ ±æÀÌ : 300~305
-¼ö·® *°³
ÀÔ´Ï´Ù.
ÀúÈñ°¡ ½ÇÇè½ÇÀÌ´Ù º¸´Ï, ´ë·® ±¸¸Å°¡ Èûµé¾î¼ * °³¸¸ ±¸¸Å °¡´ÉÇÒ °Í °°½À´Ï´Ù¡¦
Ȥ½Ã °ßÀû¼¸¦ ¹Þ¾Æº¼ ¼ö ÀÖÀ»±î¿ä??
°¨»çÇÕ´Ï´Ù.
±èÅÂÇöµå¸²