Æ©ºê-ħÀû½Ä·Î vs ½ºÆ®¸³°¡¿ vs UL-SiC°¡¿·Î
ÀϹÝÀûÀ¸·Î ¾Ë·ç¹Ì´½ À¶ÇØ ¹°Àº ¿ëÇطο¡¼ Á÷Á¢ ¿ëÇØÇÏ¿© ´ÙÀÌij½ºÆÃÀÇ Á¦Ç°À» ÁÖÁ¶ÇÔ¿¡ ÀÖ¾î¼ ÀÏÁ¤ÇÑ ¿ëÀ¶ ¿Âµµ¸¦ ¸ÂÃ߱Ⱑ ¾î·Æ´Ù. ´ÙÀÌij½ºÆà ÁÖÁ¶ ½Ã¿¡ ¿ÂµµÆíÂ÷¿¡ µû¸¥ ºÒ·®ÀÌ ¸¹ÀÌ ¹ß»ýµÇ¹Ç·Î ¿ëÇØ·Î¿Í º¸¿Â·Î¸¦ µ¿½Ã¿¡ ÇÑ ¼¼Æ®·Î ¾²°Ô µÇ°Å³ª ´ëÇü¿ëÇØ·Î (¶Ç´Â ¹Ý»ç·Î)¿¡¼ À¶ÇØÇÏ¿© ¿ëÀ¶¹°À» ´Ù½Ã º¸¿Â·Î·Î ¿Å°Ü ÀÏÁ¤ÇÑ ¿Âµµ¸¦ À¯ÁöÇÏ¿© ÁÜÀ¸·Î¼ ´ÙÀÌij½ºÆ® ÁÖÁ¶¿¡ ¿ëÀÌÇϵµ·Ï ÇϱâÀ§ÇÑ º¸Á¶·Î(ÖÓ) °³³äÀÇ ·Î°¡ ¼ÒÀ§ ħÀû½Ä(öØîÝãÒ) ·Î(ÖÓ)´Ù.
1. Æ©ºê-ħÀû½Ä·Î
¾Ë·ç¹Ì´½ ¿ëÀ¶¹°ÀÇ ¿Âµµ¸¦ ÀÏÁ¤ÇÏ°Ô À¯Áö½ÃÄÑÁÖ´Â º¸Á¶·Î¸¦ º¸¿Â·Î¶ó ÇÏ¸ç º¸¿Â·Î´Â ½º½º·Î À¶ÇØ ÇÒ ¼ö´Â ¾ø°í ÀÏÁ¤¿ÂµµÀ¯ÁöÀÇ ±â´ÉÀ» ¼öÇàÇÏ´Â ·ÎÀÌ´Ù.
º¸¿Â·Î¿¡¼ ¿Âµµ¸¦ À¯ÁöÇØÁÖ·Á¸é °¡¿Ã¼°¡ ÇÊ¿äÇѵ¥ ±× °¡¿Ã¼´Â ±Ý¼Ó ¶Ç´Â ºñ±Ý¼Ó(SiC)¹ß¿Ã¼°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.
¹ß¿Ã¼ °¡¿¹æ½ÄÀº ¹ß¿Ã¼¸¦ ÀåÂø ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹æ¹ýÀÌ Á¦ÇѵǾîÀÖ¾î¼ ¿ëÀ¶¹° ¼Ó¿¡¼ °¡¿ÇÏ¿© ¿Âµµ¸¦ À¯ÁöÇؾßÇϹǷÎ(º¸Åë °£Á¢°¡¿¹æ½ÄÀº ¿ëÀ¶¹°À» ´ãÀ» µµ°¡´Ï°¡ Çʼö)È÷Å͸¦ º¸È£ÇÏ´Â º¸È£°üÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.
³» °í¿Â ¹× °í ¿Àüµµº¸È£°üÀ» ¿ëÀ¶¹°¿¡ ħÀû½ÃÅ°°í °ü(Æ©ºê)¼Ó¿¡ È÷Å͸¦ ÀåÂøÇÏ¿© »ç¿ëÇÏ´Â ¹æ½ÄÀÌ ¼ÒÀ§ ħÀû½Äº¸¿Â·Î¶ó°í ¸í¸íµÈ °ÍÀÌ´Ù.
¿ëÇØ·Î¿Í Ä³½ºÆü³ºñ¿ÍÀÇ »çÀÌ¿¡ º¸Á¶¼ö´ÜÀ¸·Î¼ÀÇ ¸Å°³¼ö´ÜÀÌ´Ù.
2. UL-SiC°¡¿·Î
ÀÚµ¿Â÷ºÎÇ° ¹× ÀϹݱâ°èºÎÇ°ÀÌ °æ·®È µÇ¸é¼ ¾Ë·ç¹Ì´½ ¹× ±× ÇձݼÒÀç°¡ ¸¹ÀÌ »ç¿ëµÊ¿¡ µû¶ó ¾Ë·ç¹Ì´½Á¦Ç° ÁÖÁ¶ ½Ã¿¡ ´ëºÎºÐ ¿ëÇØ·Î¿Í ¿ëÇØ·Î ¶Ç´Â º¸¿Â·Î¸¦ ¼¼Æ®(SET)ÈÇÏ¿© ÅÏÅ×À̺í(TURN-TABLE)¹æ½ÄÀ¸·Î ´ÙÀÌij½ºÆñâ ÇÑ ´ë´ç 2±â ·Î(ÖÓ)¸¦ ¼³Ä¡ÇÏ¿© »ç¿ëÇÏ´Â °ÍÀÌ ÇöÀçÀÇ ¹æ½ÄÀÌ´Ù.
ÀÌ´Â ´ÙÀÌij½ºÆ® ¿ë·®ÀÌ Å¬ °æ¿ì ¿ëÀ¶¹°ÀÌ µþ¸®°Å³ª ºÎÁ·ÇÏ¿© ÀûÁ¤ ´ÙÀÌij½ºÆ® ÁÖÁ¶ »çÀÌŬÀ» ´ëÀÀ ÇÒ ¼ö ¾øÀ¸¹Ç·Î, ±Ã¿©ÁöÃ¥¿¡ 2±â ¿ëÇطθ¦ ¾²°Å³ª 2´ëÀÇ º¸¿Â·Î¸¦ »ç¿ëÇؾ߸¸ ÇÏ¿´´Ù. ÀÌ°ÍÀº ¾î¿ ¼ö ¾ø´Â ¿ëÀ¶¹°Á¶´ÞÀÇ ÇÑ°è Á¡ÀÌ¿´´Ù. ¶§¹®¿¡ ´ÙÀÌij½ºÆ® ÀÛ¾÷ »çÀÌŬÀ» ¸ÂÃß·Á¸é ¿ëÀ¶¹°À» ¸¹ÀÌ ´ãÀ» ¿ë±â¸¦ ¾²°Å³ª ¿ëÀ¶¹°ÀÇ ¿ëÇؼӵµ¸¦ ºü¸£°Ô ÇØ¾ß µÇ´Âµ¥ ÀÌ´Â ±âÁ¸ÀÇ ¹æ½ÄÀ¸·Î´Â ºÒ°¡´ÉÇÏ¿´´Ù.
¿Ö³ÄÇÏ¸é ±âÁ¸ÀÇ ¿ëÇطγª º¸¿Â·Î´Â ±Ý¼Ó¹ß¿Ã¼(´ÏÅ©·Ò, ö»êÈÅ©·Ò, ÄÅ»¿¼±)¸¦ »ç¿ëÇÏ´Ùº¸´Ï À̵éÀº ½ÇÁ¦ÀÛ¾÷(Actual work)¿¡¼ ¹ß¿Ã¼ Ç¥¸é¿Âµµ1100¡ÉÀÌÇÏ¿¡¼ »ç¿ëÇØ¾ß µÇ´Â ÇÑ°è°¡ ÀÖ´Ù. ÀÌ°ÍÀº °£Á¢°¡¿ ¹æ½ÄÀÇ ·Î¿¡¼´Â ¹ß¿Ã¼Ç¥¸é¿Âµµ¿Í ºÐÀ§±â¿Âµµ¿ÍÀÇ ¿ÂµµÂ÷°¡ 200¡ÉÁ¤µµ Â÷ÀÌ°¡ ÀÖ´Ù ÇÒ °ÍÀ̹ǷΠÃÖ°í 700~900¡ÉÀÇ ¹ß¿À» »óÁ¤ÇÏ¸é ¾Ë·ç¹Ì´½ ±«¸¦ ³Ö¾î ¿ëÀ¶¹°·Î º¯È¯ÇÏ·Á¸é ¹ß¿·®ÀÌ ºÎÁ·ÇÏ¿© ¿ëÀ¶¹°ÀÇ À¶Çؼӵµ°¡ ´õµð¾î ÀÛ¾÷ »ý»ê¼º°ú ´ÙÀÌij½ºÆà ÁÖÁ¶ »çÀÌŬÀ» ¸ÂÃâ ¼ö ¾ø´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ ´ÜÁ¡À» °³¼±ÇÑ ·Î(ÖÓ)°¡ UL-SiC Heater¸¦ ä¿ëÇÑ UL-°¡¿·ÎÀÌ´Ù. º» ·Î(ÖÓ)ÀÇ Æ¯Â¡Àº ¹ß¿Ã¼Ç¥¸é¿Âµµ 1600¡É ºÐÀ§±â¿Âµµ ÃÖ°í500~1450¡É±îÁö ¸¶À½´ë·Î °¡º¯ ÇÒ ¼ö ÀÖ¾î¼ ¿Âµµ¿µ¿ª´ë°¡ ³Ð°í »óȲ¿¡ µû¶ó¼ ´ëÇ׿µµ°¡ ¿ëÀÌÇϹǷΠ¼í¹°ÀÇ ·®ÀÌ È¹±âÀûÀ¸·Î ´Ã¾î³´Ù. ƯÈ÷ ´ÙÀÌij½ºÆÃÁÖÁ¶±â¿Í ¿ëÇطΰ¡ 1: 1·Î ´ëÀÀ ÇÒ ¼ö °¡ ÀÖ¾î ±âÁ¸ÀÇ ¼³ºñ¿¡ ºñÇÏ¿© ÀåÁ¡(¾Æ·¡ Àå´ÜÁ¡ ºñ±³ ÂüÁ¶)ÀÌ ¸¹´Ù.
3. Æ©ºê-ħÀû½Ä·Î vs UL-SiC°¡¿·Î
1) Æ©ºê-ħÀû½Ä·Î
(1) ÀåÁ¡
-. µµ°¡´Ï¸¦ »ç¿ëÇÏÁö ¾Ê°í ³»È¿ë±âÀÇ ³» ¸éÀûÀ» ¸ðµÎÈ°¿ë ÇÒ ¼ö ÀÖ¾î üÀû¿ë·®ÀÌ Å©´Ù.
-. ¿Âµµ¸¦ À¯ÁöÇÏ´Â º°µµÀÇ °¡¿Ã¼°¡ ÀÖ¾î¼ ÀÏÁ¤¼öÁØÀÇ ¿Âµµ°¡ À¯ÁöµÈ´Ù.
-. Å« ¿ë·®ÀÇ Ä³½ºÆ®¼³ºñ³ª ´ë¿ë·® ´ÙÀÌij½ºÆÃÁÖÁ¶±â¿¡ ÀûÇÕÇÏ´Ù.
(2) ´ÜÁ¡
-. ¿ë±âÀÇ ¼Ò½ÇÀ̳ª ÆÄ¼Õ ½Ã¿¡ ÀÛ¾÷ÀÌ Àü¸é Áß´ÜµÇ°í ¼ö¸®º¸¼ö±â°£ÀÌ ±æ´Ù(2ÀÏ~7ÀÏ)
-. È÷ÅÍ(¹ß¿Ã¼) ¼Ò½ÇÀ̳ª ¸Á½Ç ½Ã¿¡ ÀÛ¾÷ÀÌ Áß´ÜµÇ°í ¼ö¸®º¸¼ö±â°£ÀÌ ±æ´Ù(1ÀÏ~3ÀÏ)
-. º°µµÀÇ º¸È£°ü, È÷ÅÍ, °³º°Àü·Â µîÀÇ À¯Áöºñ¿ëÀÌ »ó´çÇÏ´Ù.(2~4ȸ/³â)
-. ÀÛ¾÷ÀåÀÇ Á¡À¯°ø°£ÀÌ ³Ð¾î¾ßÇÑ´Ù.(2¿Í1/3¹è °ø°£ ÇÊ¿ä)
-. ¼³ºñÀÇ Á¦Á¶°¡°ÝÀÌ ºñ½Î°í ¼ö¸®º¸¼ö ¹× À¯Áö°ü¸®°¡ ¾î·Æ´Ù.
-. Àú È¿À²°ú Á¦Á¶ºñ¿ë°ú´Ù ¹ß»ý, Àü·Â¼Õ½Ç 1.5¹è »ó´ç ¼Õ½ÇÀÌ ÃßÁ¤µÈ´Ù.
2) UL-SiC°¡¿·Î
(1) ÀåÁ¡
-. ¿ëÇØ·Î¿Í º¸¿Â·Î¸¦ ÅëÇÕÇÏ¿© ÀÏüÇüÀ¸·Î Á¦ÀÛÇÑ À¶ÇØ·Î(ë×ú°ÖÓ)·Î¼ ¾ç ±â´É ¸ðµÎ°¡´ÉÇÏ´Ù.
-. µµ°¡´ÏÀÇ »ç¿ëÀ¸·Î ¿ë±â±³Ã¼½Ã°£(2½Ã°£~4½Ã°£)ÀÌ Âª´Ù.
-. UL-SiCÈ÷ÅÍ»ç¿ëÀ¸·Î ¾Ë·ç¹Ì´½ ´ÙÀÌij½ºÆà ¿ëÇØ·Î(È÷ÅͽÇÁ¦»ç¿ë¼ö¸í ; 3³â~5³â)¿¡ Àû¿ëÇÏ¿© ¼Õ½Ç ½Ã¿¡ ±³Ã¼½Ã°£Àº 15~20ºÐÀ̸é ÃæºÐÇÏ°í ÀÛ¾÷ Áß´Ü ¾øÀÌ °è¼Ó¿îÀüÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
-. ÀÛ¾÷ÀåÀÇ Á¡À¯°ø°£ÀÌ ¿øÇü·Î(¨ª1500)Á¤µµ·Î ÇÕ¸®ÀûÀÎ °ø°£ È°¿ëÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
-. ¼³ºñÀÇ Á¦Á¶°¡°ÝÀÌ ÅÏÅ×ÀÌºí¼¼Æ® °¡°Ýº¸´Ù ¾ÆÁÖ Àú·ÅÇÏ°í ¼ö¸®º¸¼ö ¹× À¯Áö°ü¸®°¡ ½±´Ù.
-. »ý»ê¼º °í È¿À²°ú Àü·ÂÀý°¨ -70%(ºñ±³: ÅÏ Å×ÀÌºí¼¼Æ® ±âÁØ)ÀÌ ¿¹»óµÈ´Ù.
-. ¾Æ¿¬ ¾Ë·ç¹Ì´½ °ú Ȳµ¿. ûµ¿ ¿ëÇØ·Î °â¿ë»ç¿ëÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù
¡Ø. ¡®È÷ÅÍÀÇ ¼ö¸íÀÌ Âª´Ù¡¯°í ºñ¹æÇÏ´Â ¾÷ÀÚµéÀº º» ·Î°¡ ƯÇãµî·ÏÀÌ µÈ ·Î(ÖÓ)·Î¼ ¸¸µé ¼ö ¾ø´Â °æÀï¾÷ÀÚµéÀÇ ³ÌµÎ¸®ÀÔ´Ï´Ù. ¾ðÁ¦µçÁö ÇöÀåÀ» º¸¿©µå¸®°í ½ÇÁ¦»ç¿ëÀ» °æÇèÇÏ½Ã°í »ç¿ë¾÷ÀÚ¿Í ´ë¸é½ÃÄѵ帳´Ï´Ù. ±×·± ´ÙÀ½¿¡ ¼±ÅÃÇϼŵµ ´ÊÁö ¾Ê½À´Ï´Ù. ÇöÀç ¼öÃâÀ» Æ÷ÇÔÇÑ ¼±Ç³Àû Àαâ¸ôÀÌÁßÀÔ´Ï´Ù.
(2) ´ÜÁ¡
-. ´ë¿ë·®ÀÇ ·Î(ÖÓ)Á¦ÀÛ¿¡ ÇÑ°è°¡ ÀÖ´Ù (1500KGÀÌ»ó Á¦Á¶ ³ÇØ)
4. ºñ±³°á°ú
1) »ç¿ë¿îÀü ¿ëÀ̼º
(1) ÀÚµ¿Â÷ºÎÇ° ¹× ±â°èºÎÇ°À» Á¦Á¶ÇÏ´Â Áß¼Ò±Ô¸ðÀÇ ¾÷ü¿Í ¼Ò±Ô¸ðÀÚ¿µ¾÷ÀÚ´Â ´ç¿¬È÷ UL-SiC°¡¿·Î·Î°¡ ÀûÇÕÇÏ°í 1´ë·Î ûµ¿ Ȳµ¿ÀÇ ¿ëÇصµ °¡´ÉÇÏ¿© Àϼ®ÀÌÁ¶ÀÇ ±â´ÉÀÌ ÀÖ´Ù.
(2) Àå¼Ò°¡ Çù¼ÒÇÏ¿©µµ ¿îÀüÀÌ °¡´ÉÇÏ°í ¹ß¿Ã¼ÀÇ ±³È¯ Áß¿¡µµ ¿îÀüÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. È÷Å͸¦ ±³Ã¼Çϱâ À§ÇØ ÀÛ¾÷ ÁߴܾøÀÌ ¿¬¼ÓÀûÀ¸·Î ÀÛ¾÷À» ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
(3) Á¶ÀÛÀÌ °£´ÜÇÏ°í ·ÎÀÇ »óŸ¦ ¹Ù·Î ¾Ë ¼ö ÀÖ¾î¼ °íÀåÀÌ Àû´Ù.
2) ±â¼úÀû ¿ëÀ̼º
(1) ħÀû½Äº¸¿Â·ÎÀÇ ¿ÂµµÀÇ °¡º¯¹üÀ§º¸´Ù UL-SiC°¡¿·Î°¡ ÈξÀ ³Ð°í »¡¶ó¼ ´ëÀÀÀÌ ½±´Ù.
(2) ¿¬°á¹æ¹ýÀÌ °£´ÜÇÏ¿© Á¦¾î½Ã½ºÅÛÀÌ °£°áÇÏ´Ù.
(3) Àü±âÀýÀüÇü ½Ã½ºÅÛÀ¸·ÎÀÇ º¯È¯¿¡ Æ®·¯ºíÀÌ »ý±âÁö ¾Ê´Â´Ù.
(4) »ç¿ë¿Âµµ¹üÀ§ÀÇ ÆøÀÌ Å©´Ù.(¹ß¿Ã¼ Ç¥¸é¿Âµµ 400~1650¡É)
3) °æÁ¦Àû ¿î¿ëºñ¿ë
(1) ħÀû½Äº¸¿Â·Î(1´ë)¿¡ ºñÇÏ¿© UL-SiC°¡¿·Î(1´ë)´Â Àü·ÂÀÌ 15%~27%(DTI ±âÁØ)Àý°¨È¿°ú°¡ ÀÖ´Ù.
(2) ħÀû½Äº¸¿Â·ÎÀÇ ¼Ò¸ð¼º ºÎÇ°ºñ(SiCÈ÷ÅÍ or StripÈ÷ÅÍ º¸È£°ü ±³È¯ÁÖ±â 2~4ȸ/³â)º¸´Ù UL-SiC°¡¿·Î(µµ°¡´Ï 1ȸ/³â, È÷ÅÍ3~5³â)°¡ ¿ùµîÈ÷ °æÁ¦ÀûÀÌ´Ù.
(3) »ý»ê¼ºÈ¿À²Ãø¸é¿¡¼ UL-SiC°¡¿·Î´Â Á¦¾îºÎºÐÀÇ Æ®·¯ºí ÀÌ¿Ü¿¡¼ ÀÛ¾÷ÀÌ ÁߴܵÇÁö ¾Ê°í º¸¼ö°¡ ¿ëÀÌÇÏ¿© ÀϹÝÀÛ¾÷ÀÚ°¡ °£´ÜÈ÷ ÇØ°áµÇ´Â ¹®Á¦°¡ ´ëºÎºÐÀÌ´Ù.
(4) º¹ÀâÇÑ ÅÏÅ×ÀÌºí±¸Á¶ÀÇ ·Î(ÖÓ)¼³ºñ°¡ ÇÊ¿äÄ¡ ¾Ê°í ¿ëÇØ¿Í º¸¿ÂÀÌ µ¿½Ã¿¡ ÇØ°áµÇ¾î ÀåºñÈ¿À²ÀÌ 2¹è ÀÌ»ó Â÷ÀÌ°¡ ÀÖ´Ù.
5. ¼³ºñ±¸Á¶¿Í Çʼö ·ÎÀç(¼Ò¸ðÇ°) ºñ±³
1) ±Ý¼Ó¿ëÇØ·Î¿Í º¸¿Â·Î, ÅÏ Å×À̺í·Î
(1) ÅÏ Å×À̺í·Î(Turn Table furnace)
(2) ħÀû½Äº¸¿Â·Î
(3)½ºÆ®¸³ (µµ°¡´Ï)·Î(Turn Table)
2) UL-SiC°¡¿·Î (µµ°¡´Ï)·Î(Turn Table)