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  Àü±â·Î

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FBa- ¹Ú½ººÐÀ§±â·Î[Condition Furnace-BT]

 

 

   

   Á¦Ç°±âÈ£

:   FBa- ¹Ú½ººÐÀ§±â·Î[Condition Furnace-BT]

 

   Á¦Ç°±âÈ£

:   FUN-VUM-B00

 

   Á¦Ç°±Ô°Ý

:   SUS,Ȳ.ûµ¿, ±Ý, Àº, ±Í±Ý¼Ó À¶ÇØ.

 

   »ç¿ë¿ëµµ

:   

 

   º¸À¯Àç°í

:   

 

 

¹Ú½ººÐÀ§±â·Î[Condition Furnace-BT]

¹Ú½ºÇü·Î´Â ³»ºÎºÐÀ§±â°ø°£Àº Áú¼Ò, ¾Æ¸£°ï µîÀÇ ºÒÈ°¼º ºÐÀ§±â¿¡¼­ °øÀÛ¹°ÀÇ ÇÊ¿ä ¿Âµµ¿¡ µû¸¥ ¿­ÆòÇü ¹× ³Ã°¢¼Óµµ, ¿¡³ÊÁöÀý¾à ±â´ÉÀÌ È®¿¬È÷ °³¼±µÈ Á¦Ç°À̸ç ÀÛ¾î Áß¿¡ ½ÇÁúÀûÀ¸·Î Żź»êÈ­°¡ ¹ß»ýÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù. ÀϹÝÀûÀ¸·Î Æ©ºêŸÀÔº¸´Ù ½Â¿Â 2/3 ¹è ºü¸¥ ¿­µµ´ÞÀ» °³¼±ÇÏ¿´´Ù.

 

ÁÖ¿ä¿ëµµ : ´ëÇÐ, ¿¬±¸ ±â°ü, »ê¾÷ ¹× ±¤¾÷ ±â¾÷ ºÐÀ§±â, CVD ½ÇÇè, Áø°ø¾î´Ò¸µ, °í¿Â¼Ò°á, µî¿¡¼­ ¸¹ÀÌ »ç¿ëÇÑ´Ù.


BOX VACUUM FURNACE SPEC'

±¸ ºÐ

SWB

SVI-1200

SVI-M1400

SVI-M1700

ÃÖ°í¿Âµµ

1200

1400¡É

1700¡É

ÀÛ¾÷¿Âµµ

1100¡É

1300¡É

1600¡É

°¡¿­½Ç

Single Room

¹ÐÆó¹æ½Ä

Áø°øÆßÇÁ ½Ç¸®ÄÜÁø°ø Ç÷£ÁöŸÀÔ

±â¹Ð¼º´É

10 MPa

Á¦¾î¹æ½Ä

PIDÁ¦¾î¹æ½Ä

¿Âµµ¿ÀÂ÷

¡¾1¡É

¿ÂµµÁ¶Á¤

50´Ü°è ÀÓÀǼ³Á¤

°úÀü·ùÁ¦¾î

º¸È£ÀåÄ¡ ¹× °æº¸

°¡¿­¼Óµµ

19¡É/ min

15¡É/ min

11¡É/ min

°¡½ºÃæÀü½Ã½ºÅÛ

60-600ml/min

Àü¾Ð/Àü·Â

AC 220V ´Ü»ó 60Hz / 3~10Kw

¿­Àü´ë

K-Type

R-Type

B-Type

Àû¿ë¹ß¿­Ã¼

KHANTAL-Strip

SiC Heater

Mosi2 Heater

º¸Áõ±â°£

12°³¿ù(¼Ò¸ð¼ººÎÇ°Á¦¿Ü)


¿ë·®¿¡ µû¸¥ ±Ô°Ý

Á¾ ·ù

B x W x H (mm)

è¹ö¿ë·®

ºñ °í

M-0001

100¡¿100¡¿100

1L

 

M-0034

150¡¿150¡¿150

3.4L

 

M-0045

150¡¿150¡¿200

4.5L

 

M-0080

200¡¿200¡¿200

8L

 

M-0120

200¡¿200¡¿300

12L

 

M-0270

300¡¿300¡¿300

27L

 

M-0640

400¡¿400¡¿400

64L

 

M-0125

500¡¿500¡¿500

125L