1. NO Coating :
고밀도 흑연 요소는 대형 블록에서 부서지기 쉽고 저렴하며 기계 가공이 가능하므로 매우 큰 크기의 요소를 다양한 모양과 크기로 생산할 수 있습니다. 이 재료는 낮은 팽창 계수를 가지며 일정한 가열 및 냉각에 의해 열화되지 않습니다. Not Coated는 그것의 열린 다공성 (10-20 %) 때문에 UHV에 적합하지 않으며, 입자 오염 또한 문제가 될 수 있습니다.
저항이 낮으면 고 전류 전원 공급 장치가 필요하므로 값 비싼 공급 장치 및 케이블이 필요합니다. 불활성 분위기에서는 2000 ° C 까지, 진공 상태 에서는 1800 ° C 까지, 산소가 존재하면 500 ° C 미만 까지 작동 할 수 있습니다 . 증착물은 전기적 단락을 일으킬 수 있으므로 약한 새깅 요소 설계를 지원하는 데 문제가 발생할 수 있습니다.
<!--[endif]--> 2. Silicon Carbide Coating :
특정 농도의 고밀도 흑연에 CVD 법으로 어두운 회색 코팅을 적용한 제품. 이 실리콘 카바이드 (SiC) 코팅은 전기 절연체이므로 요소의 전기 접점에 적용 할 수 없습니다 (왼쪽 그림 참조). 우리는 연결이 만들어진 후에 연결 지점에 적용 할 수 있는 SiC 통증을 공급할 수 있습니다. 이 페인트는 열 경화됩니다. 실리콘 카바이드 코팅은 최대 1400 ° C의 산소 환경에서 작동 할 수 있으며 흑연보다 화학적으로 부식이 적은 환경에 견딜 수 있습니다.
Graphite히터 등급
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등급분류 |
SWGH-165 |
SWGH-170 |
SWGH-175 |
비 고 |
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체적밀도 |
g/cm3 |
≥1.65 |
≥1.70 |
≥1.75 |
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입자크기 |
mm |
0.5 |
0.15 |
0.15 |
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저항치 |
μΩ.m |
≤10 |
≤9 |
≤8 |
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전단강도 |
MPa |
≥15 |
≥18 |
≥20 |
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압축강도 |
MPa |
≥20 |
≥30 |
≥35 |
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열팽창계수 |
100℃ |
≤2.3×10-6 |
≤2.3×10-6 |
≤2.5×10-6 |
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기본규격 |
Φ30~Φ100 |
Φ30~Φ100 |
Φ30~Φ100 |
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