삼질화이규소, 일질화일규소, 사질화삼규소가 있다.
[1] 삼질화이규소 [英 disilicon trinitride 獨 Disiliciumtrinitrid] Si2N3＝98.20.
【제법】
규소를 질소 중에서 녹는점 부근까지 백열하고 미반응의 규소를 알칼리로 용해시켜 제거한다.
【성질】
백색 무정형 물질. 높은 녹는점. 수증기와 반응하면 이산화규소를 생성한다. 플루오르화수소산과는 헥사플루오로규산암모늄을, 용융 알칼리와는 암모니아와 규산알칼리를 생성한다. 산화납(Ⅳ)와 가열하면 삼산화이질소를, 또 크롬산납의 경우는 질소 가스를 발생한다.
[2] 일질화일규소, 실리코시안 [英 monosilicon mononitride, silicocyanogen 獨 Monosiliciummononitrid] SiN＝42.10. 규소와 질소를 1300~1400℃에서 반응시켜 질산과 플루오르화수소산의 혼합물로 삼산화이질소 등을 용해하여 제거하면 얻을 수 있다. 성질은 사질화삼규소와 비슷하다.
[3] 사질화삼규소 [英 trisilicon tetranitride 獨 Trisiliciumtetranitrid] Si3N4＝140.30.
【제법】
규소를 충분히 미세한 분말로 만들어 질소 중에서 1450℃로 장시간 가열한다.
【성질】
회색을 띤 백색의 무정형 분말. d 3.44. 상온에서는 용융 전에 승화된다. 고압하의 녹는점 1900℃. 화학적으로 비활성. 800℃의 수증기는 거의 작용하지 않고 질산과 플루오르화수소산의 혼합물에 대해서도 상당히 안정. 플루오르화수소산과만 반응하여 플루오로규산암모늄을 생성하고, 황산 중에서는 서서히 황산암모늄을 생성한다. 용융 알칼리, 산화납(Ⅳ), 산화납(Ⅱ), 크롬산납 등과 작용하면 질소를 발생한다.
[네이버 지식백과] 질화규소 [窒化硅素, silicon nitride, Siliciumnitrid] (화학대사전, 2001. 5. 20., 세화)
