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ÁúȱԼҴ ¿ÆØâ·üÀÌ ³·°í(3¡¿10-6/¡É), ³»¿Ãæ°Ý¼º(Ò±æðõú̪àõ)ÀÌ ¶Ù¾î³ª¸ç, 1200¡É±îÁöÀÇ ¿µ¿ª¿¡¼ °í°µµ(»ó¿Â ±ÁÈû°µµ 100~140§¸/§±, 1200¡É¿¡¼ 60~100§¸/§±)¸¦ À¯ÁöÇÏ´Â °ÍÀÌ ´Ù¸¥ ±¸Á¶¿ë ¼¼¶ó¹Í°ú ºñ±³ÇÑ Æ¯Â¡ÀÌ´Ù. ÁúÈ±Ô¼Ò ¼Ò°á¿¡´Â ¹ÝÀÀ¼Ò°á, 2´Ü ¼Ò°áÀ̶ó´Â Ư¼öÇÑ ¹æ¹ýµµ ÀÖ´Ù. CVD¹ý¿¡ ÀÇÇÑ ¸·(د)Àº ÀüÀÚÀç·á ºÐ¾ß¿¡¼ Áß¿äÇÏ´Ù.
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