»ïÁúÈÀ̱ԼÒ, ÀÏÁúÈÀϱԼÒ, »çÁúÈ»ï±Ô¼Ò°¡ ÀÖ´Ù.
[1] »ïÁúÈÀÌ±Ô¼Ò [çÈ disilicon trinitride Ô¼ Disiliciumtrinitrid] Si2N3£½98.20.
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±Ô¼Ò¸¦ Áú¼Ò Áß¿¡¼ ³ì´ÂÁ¡ ºÎ±Ù±îÁö ¹é¿ÇÏ°í ¹Ì¹ÝÀÀÀÇ ±Ô¼Ò¸¦ ¾ËÄ®¸®·Î ¿ëÇؽÃÄÑ Á¦°ÅÇÑ´Ù.
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¹é»ö ¹«Á¤Çü ¹°Áú. ³ôÀº ³ì´ÂÁ¡. ¼öÁõ±â¿Í ¹ÝÀÀÇϸé ÀÌ»êȱԼҸ¦ »ý¼ºÇÑ´Ù. Ç÷ç¿À¸£È¼ö¼Ò»ê°ú´Â Çí»çÇ÷ç¿À·Î±Ô»ê¾Ï¸ð´½À», ¿ëÀ¶ ¾ËÄ®¸®¿Í´Â ¾Ï¸ð´Ï¾Æ¿Í ±Ô»ê¾ËÄ®¸®¸¦ »ý¼ºÇÑ´Ù. »êȳ³(¥³)¿Í °¡¿ÇÏ¸é »ï»êÈÀÌÁú¼Ò¸¦, ¶Ç Å©·Ò»ê³³ÀÇ °æ¿ì´Â Áú¼Ò °¡½º¸¦ ¹ß»ýÇÑ´Ù.
[2] ÀÏÁúÈÀϱԼÒ, ½Ç¸®ÄÚ½Ã¾È [çÈ monosilicon mononitride, silicocyanogen Ô¼ Monosiliciummononitrid] SiN£½42.10. ±Ô¼Ò¿Í Áú¼Ò¸¦ 1300~1400¡É¿¡¼ ¹ÝÀÀ½ÃÄÑ Áú»ê°ú Ç÷ç¿À¸£È¼ö¼Ò»êÀÇ È¥ÇÕ¹°·Î »ï»êÈÀÌÁú¼Ò µîÀ» ¿ëÇØÇÏ¿© Á¦°ÅÇÏ¸é ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Ù. ¼ºÁúÀº »çÁúÈ»ï±Ô¼Ò¿Í ºñ½ÁÇÏ´Ù.
[3] »çÁúÈ»ï±Ô¼Ò [çÈ trisilicon tetranitride Ô¼ Trisiliciumtetranitrid] Si3N4£½140.30.
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±Ô¼Ò¸¦ ÃæºÐÈ÷ ¹Ì¼¼ÇÑ ºÐ¸»·Î ¸¸µé¾î Áú¼Ò Áß¿¡¼ 1450¡É·Î Àå½Ã°£ °¡¿ÇÑ´Ù.
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ȸ»öÀ» ¶í ¹é»öÀÇ ¹«Á¤Çü ºÐ¸». d 3.44. »ó¿Â¿¡¼´Â ¿ëÀ¶ Àü¿¡ ½ÂȵȴÙ. °í¾ÐÇÏÀÇ ³ì´ÂÁ¡ 1900¡É. ÈÇÐÀûÀ¸·Î ºñÈ°¼º. 800¡ÉÀÇ ¼öÁõ±â´Â °ÅÀÇ ÀÛ¿ëÇÏÁö ¾Ê°í Áú»ê°ú Ç÷ç¿À¸£È¼ö¼Ò»êÀÇ È¥ÇÕ¹°¿¡ ´ëÇؼµµ »ó´çÈ÷ ¾ÈÁ¤. Ç÷ç¿À¸£È¼ö¼Ò»ê°ú¸¸ ¹ÝÀÀÇÏ¿© Ç÷ç¿À·Î±Ô»ê¾Ï¸ð´½À» »ý¼ºÇÏ°í, Ȳ»ê Áß¿¡¼´Â ¼¼È÷ Ȳ»ê¾Ï¸ð´½À» »ý¼ºÇÑ´Ù. ¿ëÀ¶ ¾ËÄ®¸®, »êȳ³(¥³), »êȳ³(¥±), Å©·Ò»ê³³ µî°ú ÀÛ¿ëÇϸé Áú¼Ò¸¦ ¹ß»ýÇÑ´Ù.
[³×À̹ö Áö½Ä¹é°ú] ÁúÈ±Ô¼Ò [òòûùЩáÈ, silicon nitride, Siliciumnitrid] (ÈÇдë»çÀü, 2001. 5. 20., ¼¼È)