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  ³»È­±âÃÊÀç

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Cd-ÁúÈ­±Ô¼Ò ÆÇ [Silicon Nitride Slab]

 

 

   

   Á¦Ç°±âÈ£

:   Cd-ÁúÈ­±Ô¼Ò ÆÇ [Silicon Nitride Slab]

 

   Á¦Ç°±âÈ£

:   SLA-SIN-STD

 

   Á¦Ç°±Ô°Ý

:   ±âº»±Ô°Ý(Ç¥* ÂüÁ¶)

 

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ÁúÈ­±Ô¼Ò´Â ¿­ÆØâ·üÀÌ ³·°í(3¡¿10-6/¡É), ³»¿­Ãæ°Ý¼º(Ò±æðõú̪àõ)ÀÌ ¶Ù¾î³ª¸ç, 1200¡É±îÁöÀÇ ¿µ¿ª¿¡¼­ °í°­µµ(»ó¿Â ±ÁÈû°­µµ 100~140§¸/§±, 1200¡É¿¡¼­ 60~100§¸/§±)¸¦ À¯ÁöÇÏ´Â °ÍÀÌ ´Ù¸¥ ±¸Á¶¿ë ¼¼¶ó¹Í°ú ºñ±³ÇÑ Æ¯Â¡ÀÌ´Ù. ÁúÈ­±Ô¼Ò ¼Ò°á¿¡´Â ¹ÝÀÀ¼Ò°á, 2´Ü ¼Ò°áÀ̶ó´Â Ư¼öÇÑ ¹æ¹ýµµ ÀÖ´Ù. CVD¹ý¿¡ ÀÇÇÑ ¸·(د)Àº ÀüÀÚÀç·á ºÐ¾ß¿¡¼­ Áß¿äÇÏ´Ù.